スティックスリップが起きないエアシール構造のエアシリンダー
金属多孔質体を使用したエア静圧軸受けを主要部に使用した空圧機器の製作

4面拘束型エアスライド

エアシリンダの参考使用例

主要な用途
半導体生産設備(ボンダー)、工作機械(重力軸)、シート生産設備(テンションコントロール)
金属多孔質体を使用したエア静圧軸受けを主要部に使用した空圧機器の製作
4面拘束型エアスライド
エアシリンダの参考使用例
主要な用途
半導体生産設備(ボンダー)、工作機械(重力軸)、シート生産設備(テンションコントロール)